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| 製品名 | CGH形状計測装置 |
|---|---|
| 型番 | PX-08001-A |
| 価格 | お問い合わせください |
本製品はCGH（Computer Generated Hologram）を用いた非接触型の精密自由曲面鏡の形状測定器です。CGH干渉計とハルトマン法の２つの原理を組み合わせることによって、従来の干渉計やシャックハルトマンセンサーではでは不可能であった、広い測定ダイナミックレンジ（0.01µm～100µm）での 測定を実現しています。既存の製造装置への組み込みも可能ですので、お気軽にご相談ください。
| 項目 | 仕様値 |
|---|---|
| 方式 | （1）CGH干渉計方式 （2）ハルトマン法 |
| 測定波長 | 633nm |
| 射出ビーム径 | φ50nm（0次光） |
| 測定ダイナミックレンジ | 0.01μm〜100μm |
| オプション（注2） | 平面測定用CGH 曲面測定用CGH |
（注1）本製品は受注生産です。
（注2）カスタムCGHのみの製作も可能です。ご相談ください。
（注3）仕様は予告なしに変更することがございます。ご了承ください。