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結像光学系

CGH形状計測装置

製品名 CGH形状計測装置
型番 PX-08001-A
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本製品はCGH(Computer Generated Hologram)を用いた非接触型の精密自由曲面鏡の形状測定器です。CGH干渉計とハルトマン法の2つの原理を組み合わせることによって、従来の干渉計やシャックハルトマンセンサーではでは不可能であった、広い測定ダイナミックレンジ(0.01µm~100µm)での 測定を実現しています。既存の製造装置への組み込みも可能ですので、お気軽にご相談ください。

項目仕様値
方式(1)CGH干渉計方式 (2)ハルトマン法
測定波長633nm
射出ビーム径φ50nm(0次光)
測定ダイナミックレンジ0.01μm〜100μm
オプション(注2)平面測定用CGH 曲面測定用CGH

(注1)本製品は受注生産です。
(注2)カスタムCGHのみの製作も可能です。ご相談ください。
(注3)仕様は予告なしに変更することがございます。ご了承ください。

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